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　　螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備。而螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問題，便是轉(zhuǎn)子端面型線。日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。

　　一、真空概念:

　　半導(dǎo)體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態(tài)，又可分為極高真空、高真空、中真空和低真空，分類如下表所示：

　　真空一般是用特制的抽氣機(jī)獲得，它的氣體稀薄程度用真空計測定，現(xiàn)在已能用分子抽氣機(jī)和擴(kuò)散抽氣機(jī)得到1*10-14pa大氣壓的極高真空。真空技術(shù)在芯片制造，太陽能電池片制造，光學(xué)膜制造、電真空儀器，電子管和其他電子儀器方面均有廣泛應(yīng)用。

　　普通真空泵，壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空；

　　油泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ；

　　擴(kuò)散泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下，(10-3mmHg)為“高”真空；

　　不同真空度狀況下分子密度狀態(tài)：

　　二、真空裝備:

　　真空泵是最主要的真空裝備、從產(chǎn)生真空原理上分為：容積式真空泵（如液環(huán)泵，螺桿泵，羅茨泵等）；動量傳遞式真空泵（如分子泵：噴射真空泵:擴(kuò)散泵均屬于此類）；氣體捕集式真空泵（如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發(fā)鈦升華泵等）

　　在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)內(nèi)界面之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。

　　綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?/p>

　　水環(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液，所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大，如果工作液的溫度較高，真空泵的入口真空度達(dá)到液體的飽和蒸汽壓，水（液）環(huán)真空泵便會產(chǎn)生氣蝕現(xiàn)象，氣蝕的存在對泵的壽命損害比較大，主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近，有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產(chǎn)生，可以降低工作液的溫度，或者降低真空泵的使用真空度，極限壓力為3300~5000Pa之間。

　　螺桿真空泵由于具有清潔無油、抽速大、振動小、噪聲低等優(yōu)點，已成為當(dāng)前大型空間模擬真空系統(tǒng)的首選產(chǎn)品。另外，為了提高真空機(jī)組的抽速和極限真空并相應(yīng)的減小螺桿泵的尺寸，一般都是采用一臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯(lián)構(gòu)成的二級機(jī)組或二臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯(lián)構(gòu)成的三級機(jī)組。為防止顆粒雜質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)，在真空機(jī)組入口均配置入口過濾器，其精度為50 μm。